OpenILT 是一个开源的逆光刻技术研究平台。 它的库拥有一个全面的、灵活的生态系统，这些库能够有效地开发和评估 ILT 算法。 OpenILT 将 ILT 流解耦到不同的组件、光刻仿真、初始化、优化和评估中。 ILT 研究人员可以通过新的方法替换组件来快速实现和评估他们的想法。 此...
